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沃骐智能装备(苏州)有限公司
主营产品: 电气机械设备
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晶圆搬运机械手-晶圆搬运机械手
价格
订货量(个)
¥80000.00
≥1
店铺主推品 热销潜力款
联系人 汤洋
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发货地 江苏省苏州市
在线客服
商品参数
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商品介绍
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联系方式
品牌 晶圆搬运机械手
型号 晶圆搬运机械手
是否进口 国产
工作范围 2000
用途 晶圆搬运机械手
调试 含
运输 含
应用 晶圆搬运机械手
商品介绍
晶圆搬运机械手,晶圆搬运机械手,达谊恒机器人达谊恒晶圆机器人,半导体产品
达谊恒手臂
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参数详解 ※1
型号 Model | UTVW-R2800H | ||||||
机械手臂形状 Robot Type | 4轴圆坐标型 4 axis Cylindrical Coordinate | ||||||
动作范围 Operation Range | X-axis | 680mm | |||||
θ-axis | 330° | ||||||
Z-axis | 50mm | ||||||
最大动作速度 Max. Operation Speed | X, A-axis | 120°/sec | |||||
θ-axis | 80°/sec | ||||||
Z-axis | 37.5mm/sec | ||||||
分解能力 Resolution | X, A-axis | 0.001mm/pulse or less | |||||
θ-axis | 0.001°/pulse | ||||||
Z-axis | 0.001mm/pulse | ||||||
往复位置精度 Repeatability | XYZ方向:各±0.1mm | ||||||
可搬运重量 Payload | 2kg (含手爪 including E/E) | ||||||
洁净度 Cleanliness | ISO Class 3 (ISO-14644) | ||||||
本体重量 Mass | 85kg | ||||||
必要设施 Facilities | 电源 Power | Single phase 200-220±10% VAC 3A | |||||
设置环境 Environment | 温度 Temperature | 15-40℃ (Atmosphere side)/15-80℃ (Vacuum Seal Unit) | |||||
湿度 Humidity | Atmospheric pressure ~ 10-6Pa |
联系方式
公司名称 沃骐智能装备(苏州)有限公司
联系卖家 汤洋
手机 㜉㜈㜄㜌㜇㜌㜊㜋㜅㜉㜅
地址 江苏省苏州市